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刘泽文

 


现 职:中国电子学会高级会员,电子学会学术工作委员会委员;《微细加工技术》编委。
学 历:1983年7月年毕业于中国科技大学物理系
1994年4月赴法国巴黎LURE实验室从事LIGA技术研究工作
1997年4月获法国巴黎南大学博士学位
职 历:1997-1999在清华大学从事博士后研究工作,进行MEMS技术研究;出站后留清华大学微电子学研究所从事教学和科研工作,曾任微电子所器件室副主任,微电子学研究所副所长等职务。他参与或负责多项重要科研项目,包括国家自然科学基金项目、973项目、985项目,直接负责的过项目总经费近千万元。曾在国内首次用X射线光刻方法获得高分辩率特征线条及厚胶微机械结构,所参与的同步辐射项目获科学院科技进步一等奖,所建立的厚胶溶解模型多次被国际学者引用。
1999年开始在国内率先开展RFMEMS研究工作,研制出多种形式高性能MEMS开关等器件。目前的研究兴趣是微电子和微系统工艺技术,RFMEMS,BioMEMS,纳米谐振器,集成传感器等。
现任中国电子学会高级会员,电子学会学术工作委员会委员;《微细加工技术》编委,多次为中国科学院主编的中国科技发展年度报告撰文;是《微系统设计》一书的中文译者。已经在国际国内学术刊物和重要会议上发表学术论文一百篇以上,其中SCI, EI引用的论文30多篇 。拥有7项国家发明专利,一项欧洲专利。
专攻项目:
1. 纳米谐振器基础研究(自然科学基金项目);
2. 面向生物医学的超灵敏生物检测系统优化研究(973项目);
3. RFMEMS开关研究(上海市创新项目);
4. 纳电子和微系统技术(中荷合作项目)。

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